2025年1月6日举行的苏州工业园区高校科技成果转化工作推进会暨2024年度高等教育科技人才一体发展总结会上,西交利物浦大学智能工程学院赵春博士主持的MEMS先进高性能传感器芯片成果转化平台荣获“高校重点科研平台”,授予“苏州工业园区MEMS先进高性能传感器芯片成果转化平台”荣誉称号。
西浦在科技成果转化方面取得了多项重要成果。2024年,西浦锚定苏州工业园区“623”产业体系,关注需求侧,拉动供给侧,积极建设以“应用”为先导的高能级创新平台。

赵春介绍,平台聚焦第四代半导体微纳传感器新材料的研发和应用。目前,平台正深入探索金属氧化物半导体外延生长、深能级掺杂和高深宽比刻蚀技术,并成功研发出多款性能卓越的MEMS半导体芯片。值得一提的是,西浦在技术合同登记方面也取得了显著成绩。2024年,西浦登记的总金额突破了4400万元,横向合作覆盖多领域多学科,有效促进了科技成果的转化进程。这一成绩的取得,离不开西浦对科技成果转化工作的持续投入和推进。
苏州市华芯云睿微电子科技有限公司是苏州地区经济发展和高科技产业集群崛起的有力推动者,华芯云睿作为国际首批开展第四代半导体材料研究的研发团队,在全球范围内首次基于第四代半导体运用外延生长及掌握深浅双能级可控掺杂工艺,首次构建第四代半导体金属氧化物半导体内部热量-载流子运动行为模型,首次成功将第四代半导体材料应用于传感器芯片的核心温度敏感元件,大幅提升核心技术完全自主研发,独创的晶圆制造工艺、封测工艺,大幅降低综合成本。华芯云睿凭借其在MEMS传感器领域的深厚积累,已经在消费电子、汽车、工业、医疗、航空航天、物联网、能源管理和科研等多个领域崭露头角,其产品凭借高精度、低功耗、小尺寸等优势,深受市场青睐。

